根據測試者的目測來判別工件是否存在泄漏，泄漏的大小取決于測試者的主觀判斷，所以它很難消除人為因素對測試結果的影響，同時也決定了它無法定量地測出工件的泄漏率。此外，用這種方法測試后，還要對SF6氣體檢漏儀的工件進行清潔、干燥及防銹處理等額外工作，對產品的密封性要求也越發嚴格。而早期流行的采用浸水冒泡法進行密封性檢測因與現在工藝的整潔，衛生、不相符合而逐漸退出；而在一些行業特別需求產能大、而質譜式檢漏、氫氮混合氣體檢漏因涉及成本原因，在一些要求不高的地方有相當的局限。配備較長的柔性不銹鋼探頭，探測范圍廣。使用方便、靈活，配有抽氣泵、抽氣時增強測試靈敏度。

 

    以質量流量計或體積流量計感測充入工件氣體流量的變化，以此來判定SF6氣體檢漏儀工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內。流量法的特點是測量信號與被測容積的大小無關，測量信號直接反映氣體泄漏量。若感測元件是差壓流量計則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質量流量計則為質量流量法，其檢漏儀為SF6氣體檢漏儀。當對一個密封的容積充氣時，氣體將會在容積內產生振蕩，此振蕩的強弱也受形腔形狀和材質的影響；當在同等條件下，充氣壓力越高，振蕩的幅度也越高；被測件的材質和形狀不同，則散熱能力也不一樣，充氣變形量也不一樣；若標準件與被測件的容積大小不同，材料的散熱能力，充氣變形量不同都會有相當的差異。